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2021 IEEE 34th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2021, p.370-373
2021
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The Contribution of Microtechnologies
Fundamentals of Instrumentation and Measurement, 2006, p.267-324
2006
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 1992-07, Vol.10 (4), p.1631-1636
1992
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