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Selective deposition of Ta2O5 by adding plasma etching super-cycles in plasma enhanced atomic layer deposition steps
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2017-01, Vol.35 (1)
2017
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A bifunctional luminescent single-ion magnet: towards correlation between luminescence studies and magnetic slow relaxation processes
Chemical communications (Cambridge, England), 2012-01, Vol.48 (80), p.9974-9976
2012
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Plasma deposition—Impact of ions in plasma enhanced chemical vapor deposition, plasma enhanced atomic layer deposition, and applications to area selective deposition
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2020-05, Vol.38 (3)
2020
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Area selective deposition of TiO2 by intercalation of plasma etching cycles in PEALD process: A bottom up approach for the simplification of 3D integration scheme
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2019-03, Vol.37 (2)
2019
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Area selective deposition of TiO 2 by intercalation of plasma etching cycles in PEALD process: A bottom up approach for the simplification of 3D integration scheme
Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2019-03, Vol.37 (2)
2019
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Topographically selective deposition
Applied physics letters, 2019-01, Vol.114 (4)
2019
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Self-assembled monolayers as inhibitors for area-selective deposition: A novel approach towards resist-less EUV lithography
Applied surface science, 2022-12, Vol.606, p.154657, Article 154657
2022
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A bifunctional luminescent single-ion magnet: towards correlation between luminescence studies and magnetic slow relaxation processesElectronic supplementary information (ESI) available: Synthesis, detailed magnetic and luminescence data and crystallographic information. CCDC 887656 (1) and 887655 (2). For ESI and crystallographic data in CIF or other electronic format see DOI: 10.1039/c2cc35321k
2012-09
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Pre-Amorphization Implants and in-situ Surface Preparation Optimization for Low Co-Silicided Area Density
2019 19th International Workshop on Junction Technology (IWJT), 2019, p.1-4
2019
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Social dominance, but not parasite load, affects sperm quality and sperm redox status in house sparrows
Journal of experimental biology, 2019-09, Vol.222 (Pt 17)
2019
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Genotype-phenotype correlation and course of transthyretin familial amyloid polyneuropathies in France
Annals of neurology, 2015-12, Vol.78 (6), p.901-916
2015
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Des communistes en France: années 1920-années 1960
2002
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Focus – Analyse du surendettement à travers le budget des familles
Informations sociales, 2014-04, Vol.182 (2), p.50-51
2014
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Des communistes en France
2002
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Malia : un marais parle
Bulletin de correspondance hellénique, 2001, Vol.125 (1), p.67-88
2001
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