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Microelectronic engineering, 2014-05, Vol.120, p.133-137
2014
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2007-01, Vol.13 (1), p.49-59
2007
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2004-01, Vol.22 (1), p.82-89
2004
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3D Microelectronic Packaging, 2021, Vol.64, p.201-231
2021
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Journal of laser applications, 2002-08, Vol.14 (3), p.185-190
2002
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