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Journal of microelectromechanical systems, 2009-12, Vol.18 (6), p.1173-1183
2009
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 2019-12, Vol.461, p.50-54
2019
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Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms, 2017-09, Vol.406, p.15-24
2017
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