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A high precision micro/nano CMM using piezoresistive tactile probes
Measurement science & technology, 2009-08, Vol.20 (8), p.084001
2009
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Optical imaging module for astigmatic detection system
Review of scientific instruments, 2016-05, Vol.87 (5)
2016
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Metrological large range scanning probe microscope
Review of scientific instruments, 2004-04, Vol.75 (4), p.962-969
2004
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Accurate and traceable calibration of one-dimensional gratings
Measurement science & technology, 2005-06, Vol.16 (6), p.1241-1249
2005
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Atomic force probe for sidewall scanning of nano- and microstructures
Applied physics letters, 2006-04, Vol.88 (17), p.171908-171908-3
2006
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Bilateral comparison of 25 nm pitch nanometric lateral scales for metrological scanning probe microscopes
Measurement science & technology, 2010-03, Vol.21 (3), p.035105-035105
2010
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Accurate and traceable calibration of two-dimensional gratings
Measurement science & technology, 2007-02, Vol.18 (2), p.415-421
2007
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Accurate and traceable measurement of nano- and microstructures
Measurement science & technology, 2006-03, Vol.17 (3), p.545-552
2006
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A single-beam 3DoF homodyne interferometer
Measurement science & technology, 2020-08, Vol.31 (8), p.84006
2020
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A metrological large range atomic force microscope with improved performance
Review of scientific instruments, 2009-04, Vol.80 (4), p.043702-043702-10
2009
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Improving the performance of interferometers in metrological scanning probe microscopes
Measurement science & technology, 2004-02, Vol.15 (2), p.444-450
2004
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The European nanometrology landscape
Nanotechnology, 2011-02, Vol.22 (6), p.062001-062001
2011
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Development of a 3D-AFM for true 3D measurements of nanostructures
Measurement science & technology, 2011-09, Vol.22 (9), p.94009-1-10
2011
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Open Access
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Low-cost, open-source XYZ nanopositioner for high-precision analytical applications
HardwareX, 2022-04, Vol.11, p.e00317-e00317, Article e00317
2022
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Atomic force microscope cantilever based microcoordinate measuring probe for true three-dimensional measurements of microstructures
Applied physics letters, 2007-09, Vol.91 (12), p.121912-121912-3
2007
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Compact field programmable gate array (FPGA)-based multi-axial interferometer for simultaneous tilt and distance measurement in the sub-nanometre range
Measurement science & technology, 2011-09, Vol.22 (9), p.94026-1-8
2011
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Nanoscale surface measurements at sidewalls of nano- and micro-structures
Measurement science & technology, 2007-02, Vol.18 (2), p.334-341
2007
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Oxide Layer Mass Determination at the Silicon Sphere of the Avogadro Project
IEEE transactions on instrumentation and measurement, 2009-04, Vol.58 (4), p.891-896
2009
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Quantitative characterisation of nanoimprinted structures using metrological large range AFM and CDAFM
International journal of nanomanufacturing, 2012, Vol.8 (5/6), p.372
2012
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Development of a scanning probe microscope compact sensor head featuring a diamond probe mounted on a quartz tuning fork
Measurement science & technology, 2003-12, Vol.14 (12), p.2139-2143
2003
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Measurement of micro-roughness using a metrological large range scanning force microscope
Measurement science & technology, 2004-10, Vol.15 (10), p.2039-2046
2004
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Development of a combined interference microscope objective and scanning probe microscope
Review of scientific instruments, 2004-04, Vol.75 (4), p.1120-1126
2004
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Accurate and traceable calibration of one-dimensional gratings
Measurement science & technology, 2005-06, Vol.16 (6), p.1241-1249.
2005
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Accurate and traceable calibration of two-dimensional gratings
Measurement science & technology, 2007-02, Vol.18 (2), p.415-421
2007
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Accurate and traceable measurement of nano- and microstructures
Measurement science & technology, 2006-03, Vol.17 (3), p.545-552
2006
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