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Dynamics and squeeze film gas damping of a capacitive RF MEMS switch
Journal of micromechanics and microengineering, 2005-01, Vol.15 (1), p.176-184
2005
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Nanosecond switching of thin ferroelectric films
Applied physics letters, 1991-07, Vol.59 (5), p.611-613
1991
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Microelectromechanical tunable capacitors for reconfigurable RF architectures
Journal of micromechanics and microengineering, 2006-03, Vol.16 (3), p.601-611
2006
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Stresses in Pt/Pb(Zr,Ti)O3/Pt thin-film stacks for integrated ferroelectric capacitors
Journal of applied physics, 1995-08, Vol.78 (3), p.1926-1933
1995
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Preparation and ferroelectric properties of PbZr0.53Ti0.47O3 thin films by spin coating and metalorganic decomposition
Journal of applied physics, 1991-08, Vol.70 (4), p.2290-2298
1991
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Oxidation‐Induced Defects at the Poly/Mono Silicon Interface
Journal of the Electrochemical Society, 1984-10, Vol.131 (10), p.2380-2386
1984
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Stresses in Ru/PbZr0.4Ti0.6O3/Ru thin film stacks for integrated ferroelectric capacitors
Microelectronic engineering, 1995-12, Vol.29 (1-4), p.235-238
1995
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Direct-contact ferroelectric capacitors for memory applications
Microelectronic engineering, 1995-12, Vol.29 (1), p.33-36
1995
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RF MEMS tunable capacitors with large tuning ratio
17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems. Maastricht MEMS 2004 Technical Digest, 2004, p.777-780
2004
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Processing and performance of integrated ferroelectric and CMOS test structures for memory applications
Integrated ferroelectrics, 1995-01, Vol.6 (1-4), p.93-109
1995
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Preparation and ferroelectric properties of PbZr sub 0 sub . sub 5 sub 3 Ti sub 0 sub . sub 4 sub 7 O sub 3 thin films by spin coating and metallorganic decomposition
Journal of applied physics, 1991-01, Vol.70 (4), p.2290-2298
1991
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Preparation and ferroelectric properties of PbZrO.53TiO.47O3 thin films by spin coating and metalorganic decomposition
Journal of applied physics, 1991, Vol.70 (4), p.2290-2298
1991
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MEMS tunable capacitors and switches for RF applications
2004 24th International Conference on Microelectronics (IEEE Cat. No.04TH8716), 2004, Vol.1, p.49-56 vol.1
2004
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