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Nanotechnology, 2006-08, Vol.17 (15), p.3977-3983
2006
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Micro and Nano Engineering, 2024-09, Vol.24, p.100273, Article 100273
2024
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Journal of micromechanics and microengineering, 2009-01, Vol.19 (1), p.015007-015007 (6)
2009
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Microelectronic engineering, 2019-08, Vol.216, p.111093, Article 111093
2019
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Microelectronic engineering, 2014-07, Vol.124, p.42-46
2014
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Nanotechnology, 2011-06, Vol.22 (23), p.235306-235306
2011
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2003-05, Vol.21 (3), p.1019-1026
2003
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