Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2021-01, Vol.39 (1)
2021
Link zum Volltext

IEEE transactions on computer-aided design of integrated circuits and systems, 2022-11, Vol.41 (11), p.4837-4850
2022