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Cancer letters, 2013-04, Vol.331 (1), p.11-17
2013
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Wet Etching of Silicon
Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, 2010, p.1-1
2010
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Deep Reactive Ion Etching
Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, 2010, p.1-1
2010
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Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, 2010, p.1-1
2010
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Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, 2010, p.1-2
2010
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