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Installieren Sie die LibKey Nomad-Browsererweiterung und erhalten Sie von vielen Webseiten einfachen Zugriff auf lizenzierte Volltexte oder Open Access Publikationen. Mehr erfahren...Microelectronic engineering, 2013-10, Vol.110, p.112-118
2013
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Microelectronic engineering, 2012-10, Vol.98, p.226-229
2012
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Microelectronic engineering, 2013-10, Vol.110, p.119-122
2013
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Microelectronic engineering, 2013-10, Vol.110, p.119-122
2013
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ECS transactions, 2013, Vol.50 (46), p.21-31
2013
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Microelectronic engineering, 2013, Vol.110, p.119-122
2013
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Microelectronic engineering, 2013, Vol.110, p.112-118
2013
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2019-10, Vol.18 (4), p.1
2019
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2015 IEEE International Interconnect Technology Conference and 2015 IEEE Materials for Advanced Metallization Conference (IITC/MAM), 2015, p.143-146
2015
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