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Microelectronic engineering, 2015-07, Vol.142, p.7-11
2015
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Microelectronic engineering, 2019-08, Vol.216, p.111093, Article 111093
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Microelectronic engineering, 2004-06, Vol.73-74, p.847-851
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2002-11, Vol.20 (6), p.2902-2908
2002
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