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Sensors and actuators. A. Physical., 2008-07, Vol.145-146, p.283-290
2008
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Acta materialia, 2000-12, Vol.48 (20), p.4775-4782
2000
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Acta materialia, 2000-12, Vol.48 (18-19), p.4419-4424
2000
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Materials science & engineering. A, Structural materials : properties, microstructure and processing, 1997-10, Vol.238 (1), p.85-93
1997
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2009 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS, 2009, p.353-358
2009
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