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Microelectronic engineering, 2001-03, Vol.55 (1), p.291-296
2001
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Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop, 2003 IEEEI/SEMI, 2003, p.9-16
2003
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MRS proceedings, 2000, Vol.612, Article D7.3.1
2000
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Microelectronic engineering, 2000-02, Vol.55 (1-4), p.291-296
2000
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Journal of materials science letters, 1994-01, Vol.13 (18), p.1314-1316
1994
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Journal of materials science letters, 1994-09, Vol.13 (18), p.1314-1316
1994
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