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Journal of micromechanics and microengineering, 2015-12, Vol.25 (12), p.127002-6
2015
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Journal of nanoscience and nanotechnology, 2017-04, Vol.17 (4), p.2582-2584
2017
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Materials science in semiconductor processing, 2020-09, Vol.116, p.105158, Article 105158
2020
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Journal of nanoscience and nanotechnology, 2017-05, Vol.17 (5), p.3443-3448
2017
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Materials science in semiconductor processing, 2017-03, Vol.59, p.5-9
2017
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2023 IEEE 6th International Conference on Electronic Information and Communication Technology (ICEICT), 2023, p.904-906
2023
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Nanoscience and nanotechnology letters, 2017-05, Vol.9 (5), p.693-697
2017
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Materials science in semiconductor processing, 2014-11, Vol.27, p.228-232
2014
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Journal of micromechanics and microengineering, 2013-03, Vol.23 (3), p.35011-7
2013
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Materials science in semiconductor processing, 2014-11, Vol.27, p.228-232
2014
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