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Value-Added Metrology
IEEE transactions on semiconductor manufacturing, 2007-08, Vol.20 (3), p.266-277
2007
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Reducing metrology mean-time-to-detect by utilizing product data
2016 27th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2016, p.423-428
2016
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Metrology manufacturing control factors: A holistic approach for supporting 14nm and 7nm
2017 28th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2017, p.40-44
2017
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Manufacturing excellence using multi-platform ellipsometry thickness measurement fleet on advanced nodes
2016 27th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2016, p.30-36
2016
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The ROI of Metrology
2006 IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing, 2006, p.387-390
2006
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Trimming of hard-masks by gaseous chemical oxide removal (COR) for sub-10nm gates/fins, for gate length control and for embedded logic
2004
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