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Izvestija vyss̆ih uc̆ebnyh zavedenij. Priborostroenie, 2015-05, p.385-392
2015
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Quantum electronics (Woodbury, N.Y.), 2020-02, Vol.50 (2), p.95-103
2020
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2022 14th International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems (ASDAM), 2022, p.1-4
2022
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Quantum electronics (Woodbury, N.Y.), 2014-01, Vol.44 (8), p.763-769
2014
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Production of thin tungsten films
Thin solid films, 1976-11, Vol.38 (3), p.255-260
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Современные наукоемкие технологии (Modern High Technologies), 2020, Vol.2 (6 2020), p.288-292
2020
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IOP conference series. Earth and environmental science, 2021-03, Vol.689 (1), p.12029
2021
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Journal of engineering physics and thermophysics, 2018-01, Vol.91 (1), p.52-63
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Journal of engineering physics and thermophysics, 2019-05, Vol.92 (3), p.585-595
2019
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