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International journal of engineering trends and technology, 2021-07, Vol.69 (7), p.132-142
2021
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2004-05, Vol.22 (3), p.616-623
2004
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Microelectronic engineering, 2012, Vol.89, p.80-83
2012
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Journal of electronic materials, 2004-09, Vol.33 (9), p.1016-1021
2004
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Microelectronic engineering, 2012-01, Vol.89, p.80-83
2012
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Microelectronic engineering, 2012-01, Vol.89, p.80-83
2012
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Microelectronic engineering, 2012, Vol.89, p.80-83
2012
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Journal of electronic materials, 2004-09, Vol.33 (9), p.1016
2004
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Journal of electronic materials, 2004-09, Vol.33 (9), p.1016-1021
2004
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2004-05, Vol.22 (3), p.616-623
2004
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