Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...
Sortiert nach
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
A buckling-based metrology for measuring the elastic moduli of polymeric thin films
Nature materials, 2004-08, Vol.3 (8), p.545-550
2004
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Comparison of the Fracture Behavior of Brittle ILD Films used in the BEOL in Dry and Wet Environment using Nanoindentation
MRS proceedings, 2006, Vol.914, Article 0914-F04-11
2006
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Effects of Environment on Modlus of Low-k Porous Films Used in Back End of Line
MRS proceedings, 2007, Vol.990, Article 0990-B03-15
2007
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
A buckling-based metrology for measuring the elastic moduli of polymeric thin films
Nature materials, 2004-08, Vol.3 (8), p.545-550
2004
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Application of Nanoindentation to Characterize Fracture in ILD Films Used in the BEOL
MRS proceedings, 2005, Vol.863, Article B8.18
2005
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Properties Development During Curing of Low Dielectric-Constant Spin-On Glasses
MRS proceedings, 1998, Vol.511, Article 33
1998
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Characterization of Spin -on Glasses by Microindentation
MRS proceedings, 1998, Vol.511, Article 157
1998
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
New spin-on oxycarbosilane low-k dielectric materials with exceptional mechanical properties
Proceedings of the IEEE 2005 International Interconnect Technology Conference, 2005, 2005, p.226-228
2005
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Laser Spike Annealing: A Novel Post-Porosity Treatment for Significant Toughening of Low-k Organosilicates
2006 International Interconnect Technology Conference, 2006, p.146-148
2006
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Processing dependent thermal conductivity of nanoporous silica xerogel films
Journal of applied physics, 2002-03, Vol.91 (5), p.3275-3281
2002
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Effects of processing history on the modulus of silica xerogel films
Journal of applied physics, 2001-12, Vol.90 (11), p.5832-5834
2001
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Low-k spacers for advanced low power CMOS devices with reduced parasitic capacitances
2008 IEEE International SOI Conference, 2008, p.19-20
2008
Volltextzugriff (PDF)
    Datensatz exportieren als...
  • BibTeX
Nanoporous Materials Integration Into Advanced Microprocessors
MRS proceedings, 2005, Vol.863, Article B2.1
2005
Volltextzugriff (PDF)
1 – 13 von 13
Suche als RSS-Feed
Suchergebnisse filtern
Filter anzeigen