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2013 IEEE 26th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2013, p.205-208
2013
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2012 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2012, p.107-108
2012
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IEEE transactions on components, packaging, and manufacturing technology. Part B, Advanced packaging, 1996-02, Vol.19 (1), p.124-130
1996
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2012 IEEE 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2012, p.148-151
2012
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