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Geomatics and Information Science of Wuhan University, 2015-09, Vol.40 (9), p.1180-1187
2015
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2023 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), 2023, p.1-4
2023
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Characterization of ALD Low-K Films
2024 Conference of Science and Technology for Integrated Circuits (CSTIC), 2024, p.1-3
2024
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2021 8th International Forum on Electrical Engineering and Automation (IFEEA), 2021, p.162-165
2021
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Advanced materials (Weinheim), 2019-06, Vol.31 (25), p.e1807849-n/a
2019
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