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Low-Loss, Extreme Subdiffraction Photon Confinement via Silicon Carbide Localized Surface Phonon Polariton Resonators

Nano letters, 2013-08, Vol.13 (8), p.3690-3697

2013

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Proximity X-ray Lithography Using Self-Assembled Alkylsiloxane Films: Resolution and Pattern Transfer

Langmuir, 2001-01, Vol.17 (1), p.228-233

2001

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Resolution of polymethyl methacrylate: Molecular weights of 950 000 vs 50 000

Applied physics letters, 1999-06, Vol.74 (26), p.4064-4066

1999

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Photoresist channel-constrained deposition of electroless metallization on ligating self-assembled films

Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1994-11, Vol.12 (6), p.3884-3887

1994

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Nanolithography in polymethylmethacrylate: An atomic force microscope study

Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1998-11, Vol.16 (6), p.3695-3700

1998

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Electron-beam nanolithography, acid diffusion, and chemical kinetics in SAL-601

Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1998-11, Vol.16 (6), p.3773-3778

1998

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