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Applied physics letters, 1999-06, Vol.74 (26), p.4064-4066
1999
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1994-11, Vol.12 (6), p.3884-3887
1994
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1998-11, Vol.16 (6), p.3695-3700
1998
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1998-11, Vol.16 (6), p.3773-3778
1998
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