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Journal of electronic materials, 2013-01, Vol.42 (1), p.71-77
2013
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Journal of materials processing technology, 2008-05, Vol.201 (1), p.554-559
2008
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Materials science in semiconductor processing, 2013-12, Vol.16 (6), p.1879-1887
2013
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IEEE International Conference on Mechatronics, 2005. ICM '05, 2005, p.318-322
2005
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