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2012 IEEE International Symposium on Sustainable Systems and Technology (ISSST), 2012, p.1-6
2012
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2017-03, Vol.35 (2)
2017
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2017-03, Vol.35 (2)
2017
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