Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...
193-nm lithography
IEEE journal of selected topics in quantum electronics, 1995-09, Vol.1 (3), p.916-923
1995

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1987-01, Vol.5 (1), p.419-422
1987
Link zum Volltext











IEEE transactions on power delivery, 2003-10, Vol.18 (4), p.1228-1235
2003






Suchergebnisse filtern
Filter anzeigen
Publikationsform
Sprache
Erscheinungsjahr
n.n
n.n