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Journal of Telecommunications and Information Technology, 2023-06 (2), p.78-85
2023
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2012-05, Vol.30 (3), p.03D114-03D114-5
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Microelectronic engineering, 2011-12, Vol.88 (12), p.3393-3398
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ECS transactions, 2008, Vol.13 (22), p.39-45
2008
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