Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...
Einfacher Volltextzugriff von (fast) überall
Installieren Sie die LibKey Nomad-Browsererweiterung und erhalten Sie von vielen Webseiten einfachen Zugriff auf lizenzierte Volltexte oder Open Access Publikationen. Mehr erfahren...







Materials science in semiconductor processing, 2024-05, Vol.174, p.108220, Article 108220
2024
Volltextzugriff (PDF)



Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2020-05, Vol.38 (3)
2020
Volltextzugriff (PDF)














Suchergebnisse filtern
Filter anzeigen