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Influence of oxygen on the composition and some properties of the films obtained by r.f. sputtering from a Si3N4 target

Thin solid films, 1994-07, Vol.247 (2), p.145-147

Volkov, V.T
Satunkina, L.F

1994

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Influence of oxygen on the composition and some properties of the films obtained by rf sputtering from an Si sub 3 N sub 4 target

Thin solid films, 1994-01, Vol.247 (2), p.145-147

Volkov, V T
Satunkina, L F

1994

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Kinetic regularities of monosilane pyrolysis and the role of reaction chains

Kinetics and catalysis, 1996, Vol.37 (4), p.461-468

AIVAZYAN, R. G
AZATYAN, V. V
SATUNKINA, L. F

1996

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The Critical Transition between Phase Formation Modes in the Pyrolysis of Silane

Mendeleev communications, 1995, Vol.5 (3), p.120-123

Maklakov, Sergei V.
Aivazyan, Rafik G.
Azatyan, Vylen V.
Zhirkov, Pavel V.
Satunkina, Lyudmila F.

1995

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