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Scientific reports, 2016-05, Vol.6 (1), p.25348-25348, Article 25348
2016
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ACS applied materials & interfaces, 2022-05, Vol.14 (18), p.21705-21712
2022
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Journal of microelectromechanical systems, 2019-12, Vol.28 (6), p.997-1004
2019
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Journal of micromechanics and microengineering, 2005-04, Vol.15 (4), p.691-697
2005
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Journal of microelectromechanical systems, 2012-02, Vol.21 (1), p.100-109
2012
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