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Japanese Journal of Applied Physics, 1998-04, Vol.37 (4S), p.2381
1998
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Journal of applied physics, 1999-08, Vol.86 (3), p.1213-1220
1999
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Applied physics letters, 2000-06, Vol.76 (24), p.3641-3643
2000
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Plasma sources science & technology, 1998-11, Vol.7 (4), p.581-589
1998
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13th Annual IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference. Advancing the Science and Technology of Semiconductor Manufacturing. ASMC 2002 (Cat. No.02CH37259), 2002, p.101-106
2002
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Journal of clinical oncology, 2017-05, Vol.35 (15_suppl), p.e18338-e18338
2017
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European archives of oto-rhino-laryngology, 2010-09, Vol.267 (9), p.1351-1354
2010
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