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Optics express, 2012-02, Vol.20 (4), p.4436-4443
2012
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Nanofabrication
1, 2017
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IEEE journal of quantum electronics, 1999-08, Vol.35 (8), p.1220-1230
1999
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Journal of computational electronics, 2010-03, Vol.9 (1), p.8-15
2010
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MRS advances, 2022-10, Vol.7 (28), p.596-600
2022
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Journal of lightwave technology, 2004-02, Vol.22 (2), p.543-549
2004
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IEEE photonics technology letters, 1996-01, Vol.8 (1), p.22-24
1996
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Journal of lightwave technology, 1996-08, Vol.14 (8), p.1853-1858
1996
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Optical materials express, 2011-11, Vol.1 (7), p.1216-1223
2011
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IEEE journal of quantum electronics, 1996-03, Vol.32 (3), p.408-416
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Substrate Materials
Nanofabrication, 2017, p.127-137
1, 2017
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Metrology for Device Fabrication
Nanofabrication, 2017, p.279-287
1, 2017
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Nanofabrication, 2017, p.13-52
1, 2017
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Wet Chemical and Plasma Etching
Nanofabrication, 2017, p.209-240
1, 2017
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Lithography
Nanofabrication, 2017, p.139-207
1, 2017
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Nanofabrication, 2017, p.53-98
1, 2017
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Thin-Film Optics
Nanofabrication, 2017, p.99-125
1, 2017
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