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Plasma oxidation of TaSix thin films
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1990-05, Vol.8 (3), p.544-550
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Journal of energy engineering, 1993-04, Vol.119 (1), p.32-42
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Applied surface science, 1997-02, Vol.109-110, p.341-344
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Journal of applied physics, 1996-08, Vol.80 (3), p.1787-1793
1996
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