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Materials science in semiconductor processing, 2022-06, Vol.144, p.106603, Article 106603
2022
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Journal of physics. Conference series, 2021-03, Vol.1849 (1), p.12003
2021
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IOP conference series. Materials Science and Engineering, 2019-08, Vol.594 (1), p.12030
2019
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IOP conference series. Materials Science and Engineering, 2019-08, Vol.594 (1)
2019
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