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Microelectronic engineering, 2006-04, Vol.83 (4), p.876-879
2006
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Microelectronic engineering, 2007-05, Vol.84 (5), p.909-911
2007
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Journal of Photopolymer Science and Technology, 2006, Vol.19(5), pp.647-651
2006
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Journal of Photopolymer Science and Technology, 2008/06/24, Vol.21(4), pp.583-586
2008
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Journal of polymer science. Part A, Polymer chemistry, 2005-08, Vol.43 (15), p.3368-3375
2005
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-11, Vol.24 (6), p.3248-3251
2006
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-11, Vol.24 (6), p.3248-3251
2006
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IEICE COMMUNICATIONS EXPRESS, 2020-09, Vol.9 (9), p.400-404
2020
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SID International Symposium Digest of technical papers, 2017-05, Vol.48 (1), p.631-633
2017
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