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Japanese Journal of Applied Physics, 2004-06, Vol.43 (6R), p.3257
2004
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2008-07, Vol.26 (4), p.1373-1378
2008
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2011 International Reliability Physics Symposium, 2011, p.2F.4.1-2F.4.6
2011




Biotechnology and bioengineering, 1993-05, Vol.41 (11), p.1082-1091
1993
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Japanese Journal of Applied Physics, 1993-02, Vol.32 (2), p.876-886
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IEEE transactions on plasma science, 2017-08, Vol.45 (8), p.1853-1863
2017

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