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Installieren Sie die LibKey Nomad-Browsererweiterung und erhalten Sie von vielen Webseiten einfachen Zugriff auf lizenzierte Volltexte oder Open Access Publikationen. Mehr erfahren...Sensors and actuators. A. Physical., 2018-11, Vol.283, p.298-304
2018
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Microelectronic engineering, 2017-05, Vol.176, p.22-27
2017
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2013-11, Vol.31 (6), p.6
2013
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Journal of applied physics, 2012-08, Vol.112 (3)
2012
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2017-07, Vol.16 (3), p.1
2017
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2014-10, Vol.13 (4), p.43003
2014
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