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2011 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, 2011, p.1-5
2011
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2010 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2010, p.347-352
2010
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2012 38th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, 2012, p.002490-002493
2012
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2013-04, Vol.12 (2), p.23010
2013
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Journal of electrostatics, 2002, Vol.54 (1), p.95-104
2002
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