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Recent progress in thin film growth analysis by multichannel spectroscopic ellipsometry
Applied surface science, 2000-02, Vol.154, p.217-228
2000
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Real time analysis of amorphous and microcrystalline silicon film growth by multichannel ellipsometry
Thin solid films, 2000-03, Vol.364 (1-2), p.129-137
2000
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Evolutionary phase diagrams for the deposition of silicon films from hydrogen-diluted silane
Journal of non-crystalline solids, 2000-05, Vol.266, p.43-47
2000
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Optics of textured amorphous silicon surfaces
Journal of non-crystalline solids, 2000-05, Vol.266, p.279-283
2000
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Open Access
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Evolutionary phase diagrams for plasma-enhanced chemical vapor deposition of silicon thin films from hydrogen-diluted silane
Applied physics letters, 1999-10, Vol.75 (15), p.2286-2288
1999
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Analysis of the optical properties and structure of sculptured thin films from spectroscopic Mueller matrix ellipsometry
Thin solid films, 2004-05, Vol.455, p.571-575
2004
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Advances in multichannel spectroscopic ellipsometry
Thin solid films, 1998-02, Vol.313 (1-2), p.18-32
1998
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Rotating-compensator multichannel transmission ellipsometry of a thin-film helicoidal bianisotropic medium
Thin solid films, 1998-02, Vol.313 (1-2), p.373-378
1998
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Modeling the dielectric functions of silicon-based films in the amorphous, nanocrystalline and microcrystalline regimes
Journal of non-crystalline solids, 2000-05, Vol.266, p.269-273
2000
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Protocrystalline Si:H p-type Layers for Maximization of the Open Circuit Voltage in a-Si:H n-i-p Solar Cells
MRS proceedings, 2002, Vol.715, Article A6.1
2002
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Effects of H/sub 2/-dilution and plasma power in amorphous silicon deposition: comparison of microstructural evolution and solar cell performance
Conference Record of the Twenty-Eighth IEEE Photovoltaic Specialists Conference - 2000 (Cat. No.00CH37036), 2000, p.713-716
2000
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Cathodic and anodic glow discharge silicon-carbon alloys (a-Si 1- xC x:H) from x = 0.5 to 1: A comparative study by photoemission (UPS) and photoluminescence (PL)
Journal of non-crystalline solids, 1996-05, Vol.198, p.628-631
1996
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Real time optics of p-type silicon deposition on specular and textured ZnO surfaces
Conference Record of the Twenty-Eighth IEEE Photovoltaic Specialists Conference - 2000 (Cat. No.00CH37036), 2000, p.772-775
2000
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Design and performance of a normal-incidence optical critical dimension metrology system
Digest of Papers. Microprocesses and Nanotechnology 2001. 2001 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (IEEE Cat. No.01EX468), 2001, p.238
2001
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