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Journal of micromechanics and microengineering, 2010-08, Vol.20 (8), p.085010-085010
2010
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Journal of micromechanics and microengineering, 2009-07, Vol.19 (7), p.074017-074017 (9)
2009
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2008 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, 2008, p.66-70
2008
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TRANSDUCERS 2007 - 2007 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2007, p.461-464
2007
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TRANSDUCERS 2007 - 2007 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2007, p.1529-1532
2007
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19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2006, p.718-721
2006
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