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Resist debris formation in electron beam lithography
Vacuum, 1999-04, Vol.52 (4), p.469-476
1999
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Phenomenon of resist debris formation in electron beam lithography and its possible application
Vacuum, 1996-11, Vol.47 (11), p.1305-1311
1996
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Micromachined low actuation voltage RF MEMS capacitive switches, technology and characterization
2004 International Semiconductor Conference. CAS 2004 Proceedings (IEEE Cat. No.04TH8748), 2004, Vol.1, p.165-168
2004
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On-wafer electro-mechanical characterization of silicon MEMS switches
Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2003, 2003, p.281-285
2003
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Resist debris formation and proximity exposure effect in electron beam lithography
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2000-03, Vol.18 (2), p.873-876
2000
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