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Journal of micromechanics and microengineering, 2014-01, Vol.24 (1), p.15017-12
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2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013, p.1993-1996
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