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IOP conference series. Materials Science and Engineering, 2022-03, Vol.1221 (1), p.12022
2022
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Advanced optical technologies, 2017-12, Vol.6 (6), p.439-448
2017
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2016-07, Vol.15 (3), p.34006
2016
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Journal of micro/nanolithography, MEMS, and MOEMS, 2017-10, Vol.16 (4), p.41003
2017
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