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Journal of micromechanics and microengineering, 2010-11, Vol.20 (11), p.115036
2010
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Proceedings of the IEEE, 2008-02, Vol.96 (2), p.306-322
2008
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2008 IEEE 21st International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2008, p.721-724
2008
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2009 IEEE 22nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2009, p.931-934
2009
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2005 IEEE Radio Frequency integrated Circuits (RFIC) Symposium - Digest of Papers, 2005, p.113-116
2005
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TRANSDUCERS 2009 - 2009 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2009, p.2338-2341
2009
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2010 IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010, p.711-714
2010
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19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2006, p.302-305
2006
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19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, 2006, p.234-237
2006
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Journal of micromechanics and microengineering, 2002-05, Vol.12 (3), p.328-333, Article 320
2002
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Sensors and actuators. A, Physical, 2002, Vol.95 (2), p.183-195
2002
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30th European Solid-State Device Research Conference, 2000, p.412-415
2000
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