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SSRN Electronic Journal
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2022 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), 2022, p.1-3
2022
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2023 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), 2023, p.1-3
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Optimized Work Function Metal Layer Damage Effect in Metal Gate BARC Etch Process by ICP Etch System
2020
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Materials science forum, 2005-07, Vol.488-489, p.385-388
2005
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