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Ye jing yu xian shi, 2022-07, Vol.37 (7), p.797-805
2022
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Faguang xuebao, 2012-08, Vol.33 (8), p.857-862
2012
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Ye jing yu xian shi, 2012-10, Vol.27 (5), p.595-598
2012
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2012-03, Vol.30 (2)
2012
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