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- Liang, W.
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- Liu, L. J.
- Zheng, Y.
- Zhang, W. Q.
- Rohilla, A.
- Bai, Z.
- Jin, S. L.
- Wang, K.
- Duan, F. F.
- Yang, G.
- Li, J. H.
- Xu, J. H.
- Li, G. S.
- Liu, M. L.
- Liu, Z.
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2022
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Materials science in semiconductor processing, 2016-12, Vol.56, p.29-36
2016
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