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2012
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MRS bulletin, 2012-11, Vol.37 (11), p.1062-1070
2012
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2012
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2012
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2011
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2011
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2007
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2008
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Journal of microelectromechanical systems, 2011-12, Vol.20 (6), p.1250-1258
2011
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2012
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2013
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Journal of micromechanics and microengineering, 2014-09, Vol.24 (9), p.95017-12
2014
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Journal of microelectromechanical systems, 2020-10, Vol.29 (5), p.1087-1090
2020
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IEEE/ASME transactions on mechatronics, 2011-10, Vol.16 (5), p.884-896
2011
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Journal of microelectromechanical systems, 2024, Vol.33 (3), p.308-321
2024
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Journal of the American Ceramic Society, 2021-03, Vol.104 (3), p.1216-1228
2021
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IEEE electron device letters, 2018-03, Vol.39 (3), p.428-431
2018
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Journal of Vacuum Science & Technology A, 2023-09, Vol.41 (5)
2023
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IEEE electron device letters, 2019-10, Vol.40 (10), p.1670-1673
2019
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Journal of micromechanics and microengineering, 2017-08, Vol.27 (8), p.83002
2017
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Journal of microelectromechanical systems, 2013-12, Vol.22 (6), p.1383-1394
2013
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IEEE transactions on components, packaging, and manufacturing technology (2011), 2012-10, Vol.2 (10), p.1617-1622
2012
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IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control, 2018-06, Vol.65 (6), p.979-990
2018
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2023 IEEE/ION Position, Location and Navigation Symposium (PLANS), 2023, p.10-17
2023
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IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control, 2018-03, Vol.65 (3), p.476-488
2018
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