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Materials science in semiconductor processing, 2022-06, Vol.143, p.106515, Article 106515
2022
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Materials science in semiconductor processing, 2018-12, Vol.88, p.65-72
2018
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Surface & coatings technology, 2006-06, Vol.200 (22), p.6533-6537
2006
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Applied surface science, 2001-12, Vol.184 (1), p.128-134
2001
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