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Installieren Sie die LibKey Nomad-Browsererweiterung und erhalten Sie von vielen Webseiten einfachen Zugriff auf lizenzierte Volltexte oder Open Access Publikationen. Mehr erfahren...Sensors and actuators. A. Physical., 2000-10, Vol.86 (1), p.8-20
2000
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Journal of microelectromechanical systems, 1994-09, Vol.3 (3), p.97-104
1994
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Proceedings of Ninth International Workshop on Micro Electromechanical Systems, 1996, p.467-472
1996
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Proceedings of International Solid State Sensors and Actuators Conference (Transducers '97), 1997, Vol.2, p.871-874 vol.2
1997
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Technical Digest IEEE Solid-State Sensor and Actuator Workshop, 1992, p.174-177
1992
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