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Journal of Photopolymer Science and Technology, 2012/06/26, Vol.25(1), pp.87-94
2012
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Journal of Photopolymer Science and Technology, 2013/06/25, Vol.26(5), pp.617-623
2013
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2015 26th Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2015, p.232-236
2015
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Open Access
LER Limitations of Resist Thin Films
Journal of Photopolymer Science and Technology, 2012/06/26, Vol.25(5), pp.633-640
2012
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2016-11, Vol.34 (6)
2016
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2021 32nd Annual SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference (ASMC), 2021, p.1-4
2021
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Understanding EUV Shot Noise
Journal of photopolymer science and technology, 2013-09, Vol.26 (5), p.617
2013
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2009-11, Vol.27 (6), p.3014-3019
2009
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Tennessee medicine, 2011-11, Vol.104 (10), p.31
2011
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Journal of photopolymer science and technology, 1994-07, Vol.7 (3), p.433
1994
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